ftpadv主要用于测量薄膜厚度和光学折射率的测量。
主要特性:
1,包含厂家预设的和用户自定义的广泛的应用数据库,可直接使用
2,广泛的材料数据库,来源于sentech光谱椭偏仪分析数据
3,可测量半导体上的电介质膜,半导体上的半导体薄膜,硅上的聚合物膜,透明基底上的薄膜和金属基底上的薄膜
更多特性:
1,测量透明膜和弱吸收膜的厚度和折射率
2,菜单驱动软件,操作简易
3,全光谱测量时间小于 300 ms
4,32位软件,基于winnt, win2000, winxp等操作系统
5,可进行连续测量
6,高精度和高重复性测量,膜厚范围从50nm至20000nm
7,可预先定义应用程序,操作简易
8,多层膜中的指定膜层能够被测量?
9,统计分析,测量数据和对样品的操作都在protocol中显示,数据 能够被保存和打印
mapping选项,包括计算机控制扫描样品台和分析软件
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